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美国厂痴罢超高真空解理机/解理镀膜机 SVT公司的样品解理部件可以将15mm（其他尺寸可选）的方形样品解理成15个1mm×15mm的Bar条。 所有解理出的bar条被收集到样品托，堆叠在一起进行下一步批量加工。 *设计的解理工具避免了器件被破坏以及样品互相黏在一起的可能性。 此解理工具可*适用于UHV环境。 解理机可以增加钝化层沉积模块。 解理后堆叠在一起的Bar条直接进入钝化室，不用暴露大。